浙江德锐斯真空泵在洁净工程装修中的作用

国内国际 2024-04-12 23:42:11 4781

浙江德锐斯净化科技有限公司是浙江装修中的作用一家专业从事净化工程设计、施工、德锐售后服务、空泵净化设备生产销售为一体的洁净高新技术公司。

浙江德锐斯真空泵在洁净工程装修中的作用

许多半导体设备要求高真空,工程比如磁控溅射台、电子束蒸发台、浙江装修中的作用ICP、德锐PECVD等设备。空泵在高真空环境下,洁净洁净度高、水蒸气很少。工程一些半导体设备要用到有毒或有腐蚀性的浙江装修中的作用特殊气体,在低漏率真空条件下,这些气体不易外泄,设备能及时抽走未反应气体和气态反应产物,保证工艺人员的安全。如真空泵:半导体设备上常用的德锐真空泵有旋片真空泵、罗茨泵、空泵干泵、洁净分子泵和冷泵等。工程旋片真空泵可以接上N

气镇,防止被抽气体在泵油中凝结;通过滤器,过滤泵油中的杂质;接油雾过滤器和自动回油装置,减少油的损耗。旋片真空泵分成普通型和防腐型。使用的油也分为普通真空泵油和防腐真空泵油,这两种油不能混合使用。罗茨泵主要功能是在低真空下增加抽气速度。干泵的使用越来越多,它使用小量的防腐真空泵油,但是抽真空部分不含油。分子泵是靠高速旋转的叶片和静止叶片一起将气体抽走来产生高真空。冷泵是通过在泵内冷头上产生11K左右的极低温度,再加上吸附阱对气体进行吸附,来达到抽高真空的目的。

浙江德锐斯净化自有生产制造基地,设备配套齐全,可提供各种规格的风淋室、传递窗、洁净工作台、纯水设备、FFU风机过滤机组、高效送风口、洁净生物安全柜、空调过滤器及无尘车间防静电系列产品。

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